플라즈마 전자공학 3판
책 소개
반도체 디스플레이 공정뿐만 아니라 공학 전반에 플라즈마가 응용되고 있지만, 플라즈마와 RF에 대한 기초 개념이 충실한 책은 아직 없었다. 이 책은 공학전반에 응용되고 있는 플라즈마에 대한 관심과 필요를 충족시키기 위해 집필된 것으로, 학부 4학년이나 대학원생들[물리, 화학, 재료공학, 전기공학 등]을 대상으로 하였으며, 풍부한 그림과 각 장 뒤의 질의/응답 코너에서 플라즈마 관련 문제들을 다루어 독자들에게 실용적인 지식을 제공하고자 하였다. 이번 3판에서는 플라즈마 소스 그리고 연습문제 등을 수정하였고, 플라즈마 표면반응 부분을 추가하였다. 이 책은 또한 플라즈마를 사용하는 공정 엔지니어에게 플라즈마와 RF에 대한 입문적인 내용과 직관을 제공한다.
목차
서론 : 플라즈마 전자공학
Chapter 1 플라즈마 기초
Chapter 2 플라즈마 발생
Chapter 3 플라즈마 화학 반응
Chapter 4 플라즈마 공정
Chapter 5 플라즈마 측정 및 진단
Chapter 6 플라즈마 소스 공학
Chapter 7 부록
저자 소개
정진욱
한국과학기술원(KAIST) 플라즈마 박사
㈜ 플라즈마트 연구소장
한양대학교 공과대학 전기공학과 교수
University of Texas at Dallas 객원 교수 2008~2009
삼성전자 생산기술 연구소 고문 2012~2013
한국정보디스플레이 학회 장비연구회 회장 2011~2015
주요 연구 분야
반도체 디스플레이 플라즈마 진단 모니터링, 플라즈마 소스 및
물성 연구